EFEM(Equipment Front End Module, 반도체 이송 장비)등의 내부 배선기구, 전력 케이블 및 기타 취약 포인트의 온도를 실시간으로 측정하여 전송하고, 이상 고온 발생을 모니터링 함으로써 탄화(Carbonation) 발생을 사전에 예방하기 위한 Solution 입니다.
펌프 내 오일 창 내부의 오일 색상을 Color Sensor 를 통해 측정하여 수집하고, 상위 서버를 통해 모니터링을 할 수 있는 '오일 색상 모니터링 Solution' 으로, 오일을 적기에 교체 함으로써 펌프 고장을 방지하여 시스템 다운에 의한 웨이퍼 손실을 방지하고 있습니다.
팩토리 생산 공정에 사용되는 진공 펌프, 칠러(냉각기), 스크러버(세정기), 히팅자켓 장비로 부터 장비의 가동상태를 모니터링 하기 위한 솔루션으로, ETOS Gateway는 다양한 통신 방식을 사용하는 생산 공정 부대장비의 통합 모니터링을 위한 데이터 게이트웨이 입니다.
프로토콜을 추가하거나 변경하는 것이 가능하므로 새로운 제품 구매 없이 다양한 부대장비를 모니터링 하고 확장할 수 있습니다.
