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Smart FOUP Sensor Module [SFS-1000]

SmartFOUP Sensor Module 은 반도체 FOUP 내 고청정 공간에서의 환경 분석을 위한 센서 모듈로써,
다양한 통신 방식 지원으로 현장에 손쉽게 적용할 수 있으며, 가속도, 온도/습도 등 환경 분석에
필요한 각종 데이터를 수집 할 수 있습니다.

고성능 삼성 ARTIKS 탑재
- ARTIK5 (Dual Core Cortex A7)
산업 환경을 고려한 다양한 통신 방식 지원
- WIFI, ZIGBEE, BLE 통신 모듈 내장
기존 Software 연동 기술 탑재
- 삼성 SDS Insator, MDS Things Worx 등 상위 IOT Framework 과 연동 지원
- Entergris/MIRAIAL 지원용 플랫폼 제공
고청정 고신뢰 센서 모듈
- 초음파 융착 및 실리콘 패킹을 통한 완전 방오/방수 처리
  (LP:2000EA미만/유기물:150µg/L미만/ 이온 무검출)
- FOUP 내 사용 승인 획득
- IP 67 등급 인증 획득
운영 효율화를 위한 전력 및 충전 설계
- 무선 충전 솔루션 탑재
- 1회 충전으로 168시간 연속 사용

적용 시스템 구성

주요 SPECS

구분 내용
IoT Module ARTIK 520 (Dual core ARM Cortex-A7 1.0GHz, 4GB flash)
무선 IEEE 802.11a/b/g/n/ac
배터리 무선 충전 (max 800mAh), 리튬 폴리머 3000 mAh
센서 온습도 센서, 가속도 센서
주요 기능 온도·습도 정보 수집/전송, 진동·가속도 정보 수집/전송, 이벤트 데이터 수집/전송, 파워런 : 전원 연결 시 자동 시작
무게 181g
크기 W197±0.5 * D73±0.5 * H15±0.5